رسوب لایه اتمی ALD
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص | نوع مواد ALD |
| دستگاه های MEMS | لایه مانع اچینگ | ال2O3 |
| لایه محافظ | ال2O3 | |
| لایه ضد باند | TiO2 | |
| لایه آبگریز | ال2O3 | |
| لایه پیوند | ال2O3 | |
| لایه مقاوم در برابر سایش | ال2O3TiO2 | |
| لایه ضد اتصال کوتاه | ال2O3 | |
| لایه اتلاف شارژ | ZnO: Al | |
| صفحه نمایش الکترولومینسانس | لایه نورانی | ZnS: Mn / Er |
| لایه غیرفعال سازی | ال2O3 | |
| مواد ذخیره سازی | مواد فروالکتریک | HfO2 |
| مواد پارامغناطیس | Gd2O3، ار2O3، Dy2O3، Ho2O3 | |
| جفت غیر مغناطیسی | Ru, Ir | |
| الکترودها | فلزات گرانبها | |
| جفت القایی (ICP) | لایه دی الکتریک گیت با کیفیت بالا | HfO2TiO2، تا2O5ZrO2 |
| باتری خورشیدی سیلیکونی کریستالی | غیرفعال سازی سطحی | ال2O3 |
| باتری لایه نازک پروسکایت | لایه بافر | ZnxMnyO |
| لایه رسانای شفاف | ZnO: Al | |
| بسته بندی سه بعدی | از طریق Silicon-Vias (TSV) | Cu، Ru، TiN |
| کاربرد نورانی | لایه غیرفعال OLED | ال2O3 |
| حسگرها | لایه غیرفعال، مواد پرکننده | ال2O3SiO2 |
| درمان پزشکی | مواد زیست سازگار | ال2O3TiO2 |
| لایه محافظ در برابر خوردگی | لایه محافظ در برابر خوردگی سطح | ال2O3 |
| باتری سوخت | کاتالیزور | Pt، Pd، Rh |
| باتری لیتیومی | لایه محافظ مواد الکترود | ال2O3 |
| هد خواندن/نوشتن هارد دیسک | لایه غیرفعال سازی | ال2O3 |
| پوشش تزئینی | فیلم رنگی، فیلم متالایز | ال2O3TiO2 |
| پوشش ضد تغییر رنگ | پوشش ضد اکسیداسیون فلزات گرانبها | ال2O3TiO2 |
| فیلم های نوری | ضریب شکست بالا و پایین |
MgF2SiO2ZnS، TiO2، تا2O5، ZrO2، HfO2 |
اصل کار
رسوب لایه اتمی (ALD) روشی برای رسوب دادن مواد بر روی سطح بستر به شکل
لایه به لایه فیلم تک اتمی.رسوب لایه اتمی مشابه رسوب شیمیایی رایج است، اما در فرآیند
از رسوب لایه اتمی، واکنش شیمیایی یک لایه جدید از فیلم اتمی به طور مستقیم با قبلی مرتبط است
لایه، به طوری که با این روش در هر واکنش تنها یک لایه اتم رسوب می کند.
پارامتر محصول
| مدل | ALD1200-500 |
| سیستم فیلم پوشش | AL2O3،TiO2،ZnO و غیره |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 ℃ (قابل تنظیم) |
| اندازه محفظه خلاء پوشش |
قطر داخلی: 1200 میلی متر، ارتفاع: 500 میلی متر (قابل تنظیم) |
| ساختار محفظه خلاء | با توجه به نیاز مشتری |
| خلاء پس زمینه | <5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥0.15 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ± 0.1 نانومتر |
| اندازه پوشش | 200 × 200 میلی متر مربع / 400 × 400 میلی متر مربع / 1200 × 1200 میلی متر مربع و غیره |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤±0.5٪ |
| گاز پیش ساز و حامل |
تری متیل آلومینیوم، تتراکلرید تیتانیوم، دی اتیل روی، آب خالص، نیتروژن و غیره (C3H₉Al, TiCl4, C4HZn,H2O، N2، و غیره) |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه های پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
← محفظه خلاء را در دمای بالا و پایین جاروبرقی بکشید و بستر را به طور همزمان بچرخانید.
← پوشش شروع: بستر به ترتیب و بدون واکنش همزمان با پیش ساز تماس می گیرد.
→ پس از هر واکنش آن را با گاز نیتروژن با خلوص بالا پاک کنید.
← پس از اینکه ضخامت لایه به حد استاندارد رسید و عملیات تصفیه و خنک سازی انجام شد، چرخش بستر را متوقف کنید.
کامل شد، سپس پس از برآورده شدن شرایط شکست خلاء، بستر را خارج کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
