آشکارساز نقص سطح مواد نیمه هادی
برنامه های کاربردی
برای کنترل فرآیند و مدیریت بازده ماسک خالی در زمینه های نمایش نیمه هادی و
یکپارچهتولید تراشه مدار، ما از فناوری های تست نوری با توان بالا برای ساخت سریع و
اتوماتیک دقیقتشخیص عیوب سطحی ماسک خالیبا توجه به نیازهای کاربر حرفه ای،
ما مجموعه ای ازماشین های بازرسی MASK با توان بالا با کیفیت قابل اعتماد و هزینه بالا
نسبت عملکرد، برای کمک به شیشهلایه،تولیدکنندگان ماسک و پانل برای شناسایی و نظارت بر ماسک
نقص، خطر عملکرد را کاهش داده و بهبود می بخشدآنهاتوانایی مستقل تحقیق و توسعه برای فناوری های اصلی
اصل کار
با توجه به سطح و نوع نقص سطح، لنز تله مرکزی 4 برابر، نور حلقه زاویه خاص و نور کواکسیال
منبعبه عنوان رویکرد بصری انتخاب می شوند.هنگامی که دستگاه در حال کار است، نمونه در امتداد X حرکت می کند
جهت وماژول بینایی تشخیص عیب را در جهت Y انجام می دهد.
امکانات
| مدل | SDD0.5-0.5 | |
|
تشخیص عملکرد |
نوع نقص قابل تشخیص | خراش، گرد و غبار |
| اندازه نقص قابل تشخیص | 1 میکرومتر | |
|
دقت تشخیص (اندازه گیری شده) |
100% تشخیص عیوب / جمع آوری نقص (خراش، گرد و غبار) |
|
| کارایی تشخیص |
≤10 دقیقه (مقدار اندازه گیری شده: ماسک 350mm x 300mm) |
|
|
عملکرد سیستم نوری |
وضوح | 1.8 میکرومتر |
| بزرگنمایی | 40 برابر | |
| میدان بصری | 0.5mm x 0.5mm | |
| روشنایی نور آبی | 460 نانومتر، 2.5 وات | |
|
عملکرد پلتفرم حرکتی
|
X، Y حرکت دو محوره مسطح بودن میز سنگ مرمر: 2.5μm دقت خروجی جهت Z محور Y: ≤ 10.5μm دقت خروجی جهت Z محور Y: ≤8.5μm
|
|
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | ||
تصاویر تشخیص
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
