رسوب لایه اتمی در صنعت اپتیک
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص |
| اپتیک | اجزای نوری |
| کریستال فوتونیک | |
| صفحه نمایش الکترولومینسانس | |
| طیف سنجی رامان ارتقا یافته سطحی | |
| اکسید رسانای شفاف | |
لایه درخشان، لایه غیرفعال، لایه محافظ فیلتر، پوشش ضد انعکاس، ضد UV |
اصل کار
رسوب لایه اتمی (ALD)، که در اصل اپیتاکسی لایه اتمی نامیده می شود، همچنین بخار شیمیایی لایه اتمی نامیده می شود.
گواهی(ALCVD)، شکل خاصی از رسوب شیمیایی بخار (CVD) است.این فناوری می تواند مواد را رسوب دهد
روی سطحزیرلایه به صورت لایه لایه لایه لایه اتمی که مشابه مواد شیمیایی رایج است
رسوب، اما درفرآیند رسوب لایه اتمی، واکنش شیمیایی یک لایه جدید از فیلم اتمی به طور مستقیم است
مرتبط بالایه قبلی به طوری که با این روش در هر واکنش فقط یک لایه اتم رسوب می کند.
امکانات
| مدل | ALD-OX-X |
| سیستم فیلم پوشش | AL2O3،TiO2،ZnO و غیره |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 ℃ (قابل تنظیم) |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | قطر داخلی: 1200 میلی متر، ارتفاع: 500 میلی متر (قابل تنظیم) |
| ساختار محفظه خلاء | با توجه به نیاز مشتری |
| خلاء پس زمینه | <5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥0.15 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ± 0.1 نانومتر |
| اندازه پوشش | 200 × 200 میلی متر مربع / 400 × 400 میلی متر مربع / 1200 × 1200 میلی متر مربع و غیره |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤±0.5٪ |
| گاز پیش ساز و حامل | تری متیل آلومینیوم، تتراکلرید تیتانیوم، دی اتیل روی، آب خالص، |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه های پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
← محفظه خلاء را در دمای بالا و پایین جاروبرقی بکشید و بستر را به طور همزمان بچرخانید.
← پوشش شروع: بستر به ترتیب و بدون واکنش همزمان با پیش ساز تماس می گیرد.
→ پس از هر واکنش آن را با گاز نیتروژن با خلوص بالا پاک کنید.
← پس از اینکه ضخامت لایه به حد استاندارد رسید و عملیات تصفیه و خنک سازی انجام شد، چرخش بستر را متوقف کنید.
کامل شد، سپس پس از برآورده شدن شرایط شکست خلاء، بستر را خارج کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
