رسوب لایه اتمی در صنعت سیستم های میکرو الکترومکانیکی
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص |
|
سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) |
پوشش ضد سایش |
| پوشش ضد چسبندگی | |
| پوشش روان کننده |
اصل کار
یک لایه اتمی منفرد در هر چرخه فرآیند رسوب می کند.فرآیند پوشش معمولاً در واکنش رخ می دهد
محفظه، و گازهای فرآیند به طور متوالی تزریق می شوند.به طور متناوب، بستر را می توان بین دو مورد انتقال داد
مناطق پر از پیش سازهای مختلف (ALD فضایی) برای تحقق فرآیند.کل فرآیند، از جمله تمام واکنش ها
و عملیات پاکسازی، بارها و بارها تکرار می شود تا ضخامت فیلم مورد نظر محقق شود.خاص
حالت فاز اولیه توسط خواص سطحی زیرلایه تعیین می شود و سپس ضخامت لایه افزایش می یابد
به طور مداوم با افزایش تعداد چرخه واکنش. تا کنون، ضخامت فیلم را می توان با دقت کنترل کرد.
امکانات
| مدل | ALD-MEMS-X-X |
| سیستم فیلم پوشش | AL2O3،TiO2،ZnO و غیره |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 ℃ (قابل تنظیم) |
| اندازه محفظه خلاء پوشش |
قطر داخلی: 1200 میلی متر، ارتفاع: 500 میلی متر (قابل تنظیم) |
| ساختار محفظه خلاء | با توجه به نیاز مشتری |
| خلاء پس زمینه | <5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥0.15 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ± 0.1 نانومتر |
| اندازه پوشش | 200 × 200 میلی متر مربع / 400 × 400 میلی متر مربع / 1200 × 1200 میلی متر مربع و غیره |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤±0.5٪ |
| گاز پیش ساز و حامل |
تری متیل آلومینیوم، تتراکلرید تیتانیوم، دی اتیل روی، آب خالص، |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه های پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
← محفظه خلاء را در دمای بالا و پایین جاروبرقی بکشید و بستر را به طور همزمان بچرخانید.
← پوشش شروع: بستر به ترتیب و بدون واکنش همزمان با پیش ساز تماس می گیرد.
→ پس از هر واکنش آن را با گاز نیتروژن با خلوص بالا پاک کنید.
← پس از اینکه ضخامت لایه به حد استاندارد رسید و عملیات تصفیه و خنک سازی انجام شد، چرخش بستر را متوقف کنید.
کامل شد، سپس پس از برآورده شدن شرایط شکست خلاء، بستر را خارج کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
