رسوب لایه اتمی در زمینه پوشش محافظ
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص |
| پوشش محافظ | پوشش مقاوم در برابر خوردگی |
| پوشش مهر و موم |
اصل کار
در یک فرآیند CVD سنتی، پیش سازهای فاز گاز به طور مداوم یا حداقل تا حدی واکنش نشان می دهند.در ALD
روند،با این حال، واکنش ها فقط در سطح بستر رخ می دهد.این یک فرآیند چرخه ای است که از چندین مورد تشکیل شده است
واکنش های جزئی،یعنی زیرلایه به ترتیب با پیش سازها تماس می گیرد و به صورت ناهمزمان واکنش نشان می دهد.در هر
زمان داده شده، تنها بخش هایی ازواکنش ها در سطح بستر رخ می دهد.این مراحل مختلف واکنش خود محدود شونده هستند،
یعنی ترکیبات رویفقط سطح را می توان از آن تهیه کردپیش سازهای مناسب برای رشد فیلمواکنش های جزئی
زمانی تکمیل می شوند کهواکنش های خود به خودی دیگر رخ نمی دهد.فرآیندمحفظه پاکسازی و/یا تخلیه خواهد شد
توسط گاز بی اثر در میانناهمسانمراحل واکنش به منظور حذف تمام آلاینده های تولید شدهتوسط مولکول های پیش ساز در
فرآیندهای قبلی
امکانات
| مدل | ALD-PC-X-X |
| سیستم فیلم پوشش | AL2O3،TiO2،ZnO و غیره |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 ℃ (قابل تنظیم) |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | قطر داخلی: 1200 میلی متر، ارتفاع: 500 میلی متر (قابل تنظیم) |
| ساختار محفظه خلاء | با توجه به نیاز مشتری |
| خلاء پس زمینه | <5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥0.15 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ± 0.1 نانومتر |
| اندازه پوشش | 200 × 200 میلی متر مربع / 400 × 400 میلی متر مربع / 1200 × 1200 میلی متر مربع و غیره |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤±0.5٪ |
| گاز پیش ساز و حامل | تری متیل آلومینیوم، تتراکلرید تیتانیوم، دی اتیل روی، آب خالص، |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه های پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
← محفظه خلاء را در دمای بالا و پایین جاروبرقی بکشید و بستر را به طور همزمان بچرخانید.
← پوشش شروع: بستر به ترتیب و بدون واکنش همزمان با پیش ساز تماس می گیرد.
→ پس از هر واکنش آن را با گاز نیتروژن با خلوص بالا پاک کنید.
← پس از اینکه ضخامت لایه به حد استاندارد رسید و عملیات تصفیه و خنک سازی انجام شد، چرخش بستر را متوقف کنید.
کامل شد، سپس پس از برآورده شدن شرایط شکست خلاء، بستر را خارج کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
