رسوب لایه اتمی در صنعت انرژی
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص |
| انرژی | سلول های خورشیدی سیلیکونی کریستالی: لایه غیرفعال / لایه بافر / الکترود شفاف |
| سلول های حساس به رنگ: لایه بازدارنده آند عکس / نوترکیب بار | |
| سلول های سوختی: غشای تبادل پروتون / کاتد / الکترولیت / کاتالیزور | |
| باتری لیتیوم یون: آند / کاتد / پوشش اصلاح شده با نانوساختار | |
مواد ترموالکتریک | |
| لایه محافظ مواد الکترود |
اصل کار
در فرآیند رسوب لایه اتمی چهار مرحله وجود دارد:
1. ابتدا گاز پیش ساز را به زیرلایه تزریق کنید تا با سطح بستر واکنش جذب داشته باشد.
2. گاز باقیمانده را با گاز بی اثر بشویید.
3. گاز پیش ساز دوم را تزریق کنید تا با گاز پیش ساز اول جذب شده روی بستر، واکنش شیمیایی ایجاد شود.
سطح برای تشکیل فیلم
4. دوباره گاز بی اثر تزریق کنید تا گاز اضافی خارج شود.
امکانات
| مدل | ALD-EX-X |
| سیستم فیلم پوشش | AL2O3،TiO2،ZnO و غیره |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 ℃ (قابل تنظیم) |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | قطر داخلی: 1200 میلی متر، ارتفاع: 500 میلی متر (قابل تنظیم) |
| ساختار محفظه خلاء | با توجه به نیاز مشتری |
| خلاء پس زمینه | <5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥0.15 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ± 0.1 نانومتر |
| اندازه پوشش | 200 × 200 میلی متر مربع / 400 × 400 میلی متر مربع / 1200 × 1200 میلی متر مربع و غیره |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤±0.5٪ |
| گاز پیش ساز و حامل | تری متیل آلومینیوم، تتراکلرید تیتانیوم، دی اتیل روی، آب خالص، |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه های پوشش
مرحله فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
← محفظه خلاء را در دمای بالا و پایین جاروبرقی بکشید و بستر را به طور همزمان بچرخانید.
← پوشش شروع: بستر به ترتیب و بدون واکنش همزمان با پیش ساز تماس می گیرد.
→ پس از هر واکنش آن را با گاز نیتروژن با خلوص بالا پاک کنید.
← پس از اینکه ضخامت لایه به حد استاندارد رسید و عملیات تصفیه و خنک سازی انجام شد، چرخش بستر را متوقف کنید.
کامل شد، سپس پس از برآورده شدن شرایط شکست خلاء، بستر را خارج کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
