رسوب لایه اتمی در صنعت حسگر
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص |
|
سنسور |
سنسور گاز |
| سنسور رطوبت | |
| حسگر زیستی |
اصل کار
یک چرخه اصلی رسوب لایه اتمی شامل چهار مرحله است:
1. اولین پیش ماده به سطح بستر هدایت می شود و فرآیند جذب شیمیایی به طور خودکار انجام می شود.
خاتمه دادنهنگامی که سطح اشباع شده است؛
2. گازهای خنثی Ar یا N2 و فرآورده های جانبی، اولین پیش ماده اضافی را پاک کنید.
3. پیش ماده دوم تزریق می شود و با اولین پیش ماده شیمیایی جذب شده روی سطح زیرلایه واکنش می دهد.
را تشکیل می دهندفیلم مورد نظرفرآیند واکنش تا زمانی که واکنش اولین پیش ماده جذب شود، پایان می یابد
سطح بسترتکمیل می شود.پیش ساز دوم تزریق می شود و پیش ساز اضافی شسته می شود
دور؛
4. گازهای بی اثر مانند Ar یا N2 و محصولات جانبی.
این فرآیند واکنش یک چرخه نامیده می شود: تزریق و شستشوی اولین پیش ماده، تزریق و فلاشینگ
دومینپیش ساززمان مورد نیاز برای یک سیکل، مجموع زمان تزریق پیش سازهای اول و دوم است
به علاوه این دوزمان شستشوبنابراین، کل زمان واکنش، تعداد چرخه های ضرب در زمان چرخه است.
امکانات
| مدل | ALD-SEN-X-X |
| سیستم فیلم پوشش | AL2O3،TiO2،ZnO و غیره |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 ℃ (قابل تنظیم) |
| اندازه محفظه خلاء پوشش |
قطر داخلی: 1200 میلی متر، ارتفاع: 500 میلی متر (قابل تنظیم) |
| ساختار محفظه خلاء | با توجه به نیاز مشتری |
| خلاء پس زمینه | <5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥0.15 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ± 0.1 نانومتر |
| اندازه پوشش | 200 × 200 میلی متر مربع / 400 × 400 میلی متر مربع / 1200 × 1200 میلی متر مربع و غیره |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤±0.5٪ |
| گاز پیش ساز و حامل |
تری متیل آلومینیوم، تتراکلرید تیتانیوم، دی اتیل روی،آب خالص، |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه های پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
← محفظه خلاء را در دمای بالا و پایین جاروبرقی بکشید و بستر را به طور همزمان بچرخانید.
← پوشش شروع: بستر به ترتیب و بدون واکنش همزمان با پیش ساز تماس می گیرد.
→ پس از هر واکنش آن را با گاز نیتروژن با خلوص بالا پاک کنید.
← پس از اینکه ضخامت لایه به حد استاندارد رسید و عملیات پاکسازی و خنک‌سازی انجام شد، چرخش زیرلایه را متوقف کنید.س
کامل شد، سپس پس از برآورده شدن شرایط شکست خلاء، بستر را خارج کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
