رسوب کندوپاش مگنترون در صنعت نیمه هادی
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص | نوع مواد |
| نیمه هادی | آی سی، الکترود LSI، فیلم سیم کشی | AI، Al-Si، Al-Si-Cu، Cu، Au، Pt، Pd، Ag |
| الکترود حافظه VLSI | Mo، W، Ti | |
| فیلم مانع انتشار | MoSix، Wsix، TaSix،, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| فیلم چسب | PZT(Pb-ZrO2-Ti)، Ti، W |
اصل کار
اصل کندوپاش مگنترون: در اثر میدان الکتریکی، الکترون ها در این فرآیند با اتم های آرگون برخورد می کنند.
پرواز به سمت بستر با سرعت بالا، یونیزاسیون مقدار زیادی از یون های آرگون و الکترون ها، و سپس الکترون ها به سمت
لایه.یون‌های آرگون هدف را با سرعت زیاد تحت تأثیر میدان الکتریکی بمباران می‌کنند و تعداد زیادی هدف را پراکنده می‌کنند.
اتم‌ها، سپس اتم‌های هدف خنثی (یا مولکول‌ها) روی بستر رسوب می‌کنند تا لایه‌هایی تشکیل دهند.
امکانات
| مدل | MSC-SEM-X-X |
| نوع پوشش | فیلم های دی الکتریک مختلف مانند فیلم فلزی، اکسید فلزی و AIN |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 درجه سانتیگراد |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | 700mm*750mm*700mm (قابل تنظیم) |
| خلاء پس زمینه | < 5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥ 10 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ≤ ± 3٪ |
| حداکثر اندازه پوشش | ≥ 100mm (قابل تنظیم) |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حامل بستر | با مکانیسم چرخش سیاره ای |
| مواد هدف | 4×4 اینچ (سازگار با 4 اینچ و پایین تر) |
| منبع تغذیه | منابع تغذیه مانند DC، پالس، RF، IF و بایاس اختیاری هستند |
| گاز فرآیندی | آر، ن2، O2 |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
→ تقریباً جاروبرقی کنید.
→ پمپ مولکولی را روشن کنید، با حداکثر سرعت جاروبرقی بزنید، سپس چرخش و چرخش را روشن کنید.
→ گرم کردن محفظه خلاء تا رسیدن دما به هدف.
→ اجرای کنترل دمای ثابت.
→ عناصر تمیز؛
← چرخش و بازگشت به مبدا.
→ فیلم پوشش با توجه به الزامات فرآیند؛
→ دمای پایین تر و توقف مجموعه پمپ پس از پوشش؛
← پس از پایان عملیات خودکار، کار را متوقف کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
