رسوب کندوپاش مگنترون در صنعت نمایش
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص | نوع مواد |
| نمایش دادن | فیلم رسانای شفاف | ITO(In2O؛ -SnO2) |
| فیلم سیم کشی الکترود | Mo، W، Cr، Ta، Ti، Al، AlTi، AITa | |
| فیلم الکترولومینسانس | ZnS-Mn، ZnS-Tb، CaS-Eu، Y2O3، تا2O5، BaTiO3 |
اصل کار
به عنوان یک روش معمول رسوب بخار فیزیکی (PVD)، کندوپاش مگنترون دارای مزایای زیادی مانند کم است.
دمای رسوب، سرعت رسوب سریع و یکنواختی خوب فیلم‌های رسوب‌شده.کندوپاش سنتی
فن آوری به شرح زیر عمل می کند: در یک محیط خلاء بالا، یون های برخوردی (Ar+) هدف را در زیر بمباران می کنند.
عمل میدان الکتریکی برای ساختن اتم‌ها یا مولکول‌های خنثی روی سطح هدف، انرژی جنبشی کافی برای خروج از آن دریافت می‌کند
سطح هدف و رسوب بر روی سطح بستر برای تشکیل فیلم.با این حال، الکترون‌ها تحت اثر حرکت می‌کنند
میدان های الکتریکی و مغناطیسی، که منجر به راندمان کندوپاش پایین می شود.مسیرهای کوتاه بمباران الکترونی نیز منجر به
افزایش دمای بستربه منظور افزایش راندمان کندوپاش، یک آهنربای قوی در زیر آن تعبیه شده است
هدف با قطب های N و S به ترتیب در مرکز و محیط آن.الکترون ها در اطراف هدف محدود شده اند
عمل نیروی لورنتس، دائماً در یک دایره حرکت می کند، Ar+ بیشتری برای بمباران هدف تولید می کند و در نهایت به شدت
افزایش راندمان کندوپاش
امکانات
| مدل | MSC-DX-X |
| نوع پوشش | فیلم های دی الکتریک مختلف مانند فیلم فلزی، اکسید فلزی و AIN |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 درجه سانتیگراد |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | 700mm*750mm*700mm (قابل تنظیم) |
| خلاء پس زمینه | < 5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥ 10 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ≤ ± 3٪ |
| حداکثر اندازه پوشش | ≥ 100mm (قابل تنظیم) |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حامل بستر | با مکانیسم چرخش سیاره ای |
| مواد هدف | 4×4 اینچ (سازگار با 4 اینچ و پایین تر) |
| منبع تغذیه | منابع تغذیه مانند DC، پالس، RF، IF و بایاس اختیاری هستند |
| گاز فرآیندی | آر، ن2، O2 |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
→ تقریباً جاروبرقی کنید.
→ پمپ مولکولی را روشن کنید، با حداکثر سرعت جاروبرقی بزنید، سپس چرخش و چرخش را روشن کنید.
→ گرم کردن محفظه خلاء تا رسیدن دما به هدف.
→ اجرای کنترل دمای ثابت.
→ عناصر تمیز؛
← چرخش و بازگشت به مبدا.
→ فیلم پوشش با توجه به الزامات فرآیند؛
→ دمای پایین تر و توقف مجموعه پمپ پس از پوشش؛
← پس از پایان عملیات خودکار، کار را متوقف کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
