رسوب کندوپاش مگنترون در میدان پوشش ضد تغییر رنگ
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص | نوع مواد |
| پوشش ضد تغییر رنگ | پوشش ضد اکسیداسیون فلزات گرانبها | ال2O3TiO2 |
اصل کار
الکترون ها به طور مداوم با اتم های آرگون در فرآیند حرکت برخورد می کنند و تعداد زیادی از یون های آرگون را یونیزه می کنند.
هدف را بمباران کنیدپس از برخوردهای متعدد، انرژی الکترون ها به تدریج کاهش می یابد. الکترون ها جدا می شوند
از محدودیت خط مغناطیسی نیرو، از هدف دور شده و در نهایت بر روی بستر رسوب کنید.
امکانات
| مدل | MSC-ADC-X-X |
| نوع پوشش | فیلم های دی الکتریک مختلف مانند فیلم فلزی، اکسید فلزی و AIN |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 درجه سانتیگراد |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | 700mm*750mm*700mm (قابل تنظیم) |
| خلاء پس زمینه | < 5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥ 10 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ≤ ± 3٪ |
| حداکثر اندازه پوشش | ≥ 100mm (قابل تنظیم) |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حامل بستر | با مکانیسم چرخش سیاره ای |
| مواد هدف | 4×4 اینچ (سازگار با 4 اینچ و پایین تر) |
| منبع تغذیه | منابع تغذیه مانند DC، پالس، RF، IF و بایاس اختیاری هستند |
| گاز فرآیندی | آر، ن2، O2 |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
→ تقریباً جاروبرقی کنید.
→ پمپ مولکولی را روشن کنید، با حداکثر سرعت جاروبرقی بزنید، سپس چرخش و چرخش را روشن کنید.
← گرم کردن محفظه خلاء تا زمانی که دما به هدف برسد.
→ اجرای کنترل دمای ثابت.
→ عناصر تمیز؛
← چرخش و بازگشت به مبدأ.
→ فیلم پوشش با توجه به الزامات فرآیند؛
→ دمای پایین تر و توقف مجموعه پمپ پس از پوشش؛
← پس از پایان عملیات خودکار، کار را متوقف کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
