رسوب کندوپاش مگنترون در زمینه پوشش تزئینی
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص | نوع مواد |
| پوشش تزئینی | فیلم رنگی، فیلم متالایز | ال2O3TiO2، و انواع فیلم های فلزی |
اصل کار
کندوپاش مغناطیسی برای افزایش سرعت کندوپاش با وارد کردن میدان مغناطیسی روی سطح هدف و استفاده از
میدان مغناطیسی برای محدود کردن ذرات باردار برای افزایش چگالی پلاسما.
امکانات
| مدل | MSC-DC-X-X |
| نوع پوشش | فیلم های دی الکتریک مختلف مانند فیلم فلزی، اکسید فلزی و AIN |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 درجه سانتیگراد |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | 700mm*750mm*700mm (قابل تنظیم) |
| خلاء پس زمینه | < 5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥ 10 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ≤ ± 3٪ |
| حداکثر اندازه پوشش | ≥ 100mm (قابل تنظیم) |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حامل بستر | با مکانیسم چرخش سیاره ای |
| مواد هدف | 4×4 اینچ (سازگار با 4 اینچ و پایین تر) |
| منبع تغذیه | منابع تغذیه مانند DC، پالس، RF، IF و بایاس اختیاری هستند |
| گاز فرآیندی | آر، ن2، O2 |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه پوشش
مراحل فرآیند
← بستر پوشش را در محفظه خلاء قرار دهید.
← تقریباً جاروبرقی.
→ پمپ مولکولی را روشن کنید، با حداکثر سرعت جاروبرقی بزنید، سپس چرخش و چرخش را روشن کنید.
→ گرم کردن محفظه خلاء تا رسیدن دما به هدف.
→ اجرای کنترل دمای ثابت.
→ عناصر تمیز؛
← چرخش و بازگشت به مبدا.
→ فیلم پوشش با توجه به الزامات فرآیند؛
→ دمای پایین تر و توقف مونتاژ پمپ پس از پوشش.
← پس از پایان عملیات خودکار، کار را متوقف کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
