رسوب کندوپاش مگنترون در صنعت درمان پزشکی
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص | نوع مواد |
| درمان پزشکی | مواد زیست سازگار | ال2O3TiO2 |
اصل کار
اصل اساسی کندوپاش مگنترون این است که الکترون ها در فرآیند پرواز با اتم های آرگون برخورد می کنند.
رازیرلایه تحت عمل میدان الکتریکی، یون های آرگون تولید شده سطح هدف را بمباران می کنند.بعد از انرژی
تبادل،اتم های روی سطح هدف از شبکه اصلی فرار می کنندو به زیرلایه منتقل می شوند
سطح برای تشکیل فیلم
امکانات
| مدل | MSC-MT-X-X |
| نوع پوشش | فیلم های دی الکتریک مختلف مانند فیلم فلزی، اکسید فلزی و AIN |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 درجه سانتیگراد |
| وکیوم پوششاتاق سیze | 700mm * 750mm * 700mm (قابل تنظیم) |
| خلاء پس زمینه | < 5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥ 10 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ≤ ± 3٪ |
| حداکثر اندازه پوشش | ≥ 100mm (قابل تنظیم) |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حامل بستر | با مکانیسم چرخش سیاره ای |
| مواد هدف | 4×4 اینچ (سازگار با 4 اینچ و پایین تر) |
| منبع تغذیه | منابع تغذیه مانند DC، پالس، RF، IF و بایاس اختیاری هستند |
| گاز فرآیندی | آر، ن2، O2 |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
→ تقریباً جاروبرقی کنید.
→ پمپ مولکولی را روشن کنید، با حداکثر سرعت جاروبرقی بزنید، سپس چرخش و چرخش را روشن کنید.
→ گرم کردن محفظه خلاء تا رسیدن دما به هدف.
→ اجرای کنترل دمای ثابت.
→ عناصر تمیز؛
← چرخش و بازگشت به مبدا.
→ فیلم پوشش با توجه به الزامات فرآیند؛
→ دمای پایین تر و توقف مجموعه پمپ پس از پوشش؛
→ پس از پایان عملیات خودکار، کار را متوقف کنید.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
