رسوب کندوپاش مگنترون در زمینه فیلم عملکردی
برنامه های کاربردی
| برنامه های کاربردی | هدف خاص | نوع مواد |
| فیلم کاربردی | فیلم فوق سخت | TiN، TiC |
|
فیلم ضد نور |
Cr، AlSi، AlTi، و غیره | |
| فیلم مقاومتی | NiCrSi، CrSi، MoTa و غیره | |
| فیلم ابررسانا | YbaCuO، BiSrCaCuo | |
| فیلم مغناطیسی | Fe، Co، Ni، FeMn، FeNi و غیره |
اصل کار
انواع مختلفی از کندوپاش مگنترون با اصول کار و اشیاء کاربردی متفاوت وجود دارد.اما آنجا
یک چیز مشترک است: الکترونها را در مسیرهای مارپیچی نزدیک سطح هدف با برهمکنش بین آنها حرکت می دهد
میدان های مغناطیسی و الکتریکی، بنابراین احتمال تولید یون های تولید شده از برخورد الکترون ها با آرگون را افزایش می دهد.
سپس یون های تولید شده تحت تاثیر میدان الکتریکی به سطح هدف برخورد کرده و مواد مورد نظر را پراکنده می کنند.
امکانات
| مدل | MSC-FF-X-X |
| نوع پوشش | فیلم های دی الکتریک مختلف مانند فیلم فلزی، اکسید فلزی و AIN |
| محدوده دمای پوشش | دمای معمولی تا 500 درجه سانتیگراد |
| اندازه محفظه خلاء پوشش | 700mm*750mm*700mm (قابل تنظیم) |
| خلاء پس زمینه | < 5×10-7mbar |
| ضخامت پوشش | ≥ 10 نانومتر |
| دقت کنترل ضخامت | ≤ ± 3٪ |
| حداکثر اندازه پوشش | ≥ 100mm (قابل تنظیم) |
| یکنواختی ضخامت فیلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حامل بستر | با مکانیسم چرخش سیاره ای |
| مواد هدف | 4×4 اینچ (سازگار با 4 اینچ و پایین تر) |
| منبع تغذیه | منابع تغذیه مانند DC، پالس، RF، IF و بایاس اختیاری هستند |
| گاز فرآیندی | آر، ن2، O2 |
| توجه: تولید سفارشی در دسترس است. | |
نمونه پوشش
مراحل فرآیند
← بستر را برای پوشش در محفظه خلاء قرار دهید.
→ تقریباً جاروبرقی کنید.
← پمپ مولکولی را روشن کنید، وکیوم کنیدبا حداکثر سرعت، سپس چرخش و چرخش را روشن کنید.
← حرارت دادن محفظه خلاء تا زمانی که دما به دمای آن برسدهدف؛
→ اجرای کنترل دمای ثابت.
→ عناصر تمیز؛
← چرخش و بازگشت به مبدا.
→ فیلم پوشش با توجه به الزامات فرآیند؛
→ دمای پایین تر و توقف مجموعه پمپ پس از پوشش؛
← وقتی کار را متوقف کنیدعملیات خودکار به پایان رسیده است.
مزایای ما
ما تولید کننده هستیم
فرآیند بالغ.
ظرف 24 ساعت کاری پاسخ دهید.
گواهینامه ISO ما
بخش هایی از اختراعات ما
بخش هایی از جوایز و صلاحیت های تحقیق و توسعه ما
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
